LW-9300TIC 熱傳風洞
特點
根據SEMI 38-87規(guī)范設計制造
規(guī)格
1. 開回路下吹式結構
2. 試驗段:0.3 (W) × 0.3 (H) × 0.7 (L) m
3. 流場品質:
3.1. 在未加熱狀態(tài),風速達2 m/sec以上,于中心點起算80%的截面積
3.2. 均勻度 >98%
3.3. 擾流強度<1%
4. 風速:1 ~ 10 m/sec
5. 總體尺寸:0.75 (W) × 4.3 (L) × 1.8 (H) m (Ref.)
6. 使用電力:AC220V, 單相, 10 Amp

試驗段